真空測(cè)量是在低于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓時(shí)，對(duì)氣體或蒸氣全壓的測(cè)量。真空計(jì)是測(cè)量低于一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體或蒸氣壓力的儀器。它由測(cè)量儀表、連接導(dǎo)線和傳感器組成。測(cè)最101325~133.32Pa(760~1Torr)范圍的壓強(qiáng)可用壓差真空計(jì)，而低于133Pa(1Torr)的則需利用氣體的其他物理特性的真空計(jì)來測(cè)量。壓力是一個(gè)力學(xué)量，為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa，直接測(cè)量這樣大的壓力是容易的，但在真空技術(shù)中，測(cè)量這樣大的壓力是比較少的。真空技術(shù)中遇到的氣體壓力都很低，如有時(shí)要測(cè)10-10Pa的壓力，這樣極小的壓力用直接測(cè)量單位面積所承受的力是不可能的。因此，測(cè)量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現(xiàn)象，然后測(cè)量這個(gè)過程中與氣體壓力有關(guān)的某些物理量，再設(shè)法間接確定出真實(shí)壓力來。例如先將被測(cè)氣體壓縮，使其壓力增高，測(cè)出增高后的壓力，再根據(jù)壓縮比計(jì)算出原來的壓力值，這就是所謂的壓縮式真空計(jì)。也可以用一根熱絲，測(cè)量氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果，如熱絲溫度、電阻變化等，這就構(gòu)成熱傳導(dǎo)真空計(jì)。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離，用測(cè)得的離子流反應(yīng)壓力，這就是電離真空計(jì)。

真空測(cè)量的分類有哪些?

被測(cè)氣體除少數(shù)情況外，多為混合氣體。上述壓力測(cè)量是指混合氣體全壓力測(cè)量。在近代真空測(cè)量技術(shù)中，分壓力測(cè)量越來越重要。這里所說的分壓力測(cè)量是指全面地測(cè)出混合氣體各組成成分的分壓力。這樣，混合氣體的全壓力就等于其各組成成分的分壓力之和。

現(xiàn)代分壓力真空計(jì)都屬于電離類，即先將氣體電離，然后將所得的各成分離子加速，再把離子引進(jìn)分析器，將離子分開，分別測(cè)出各成分離子流強(qiáng)度，便可知?dú)怏w的成分和數(shù)量，分析器有磁的、電的、電磁結(jié)合的和其他方式的。有時(shí)只需知曉被測(cè)系統(tǒng)殘余氣體成分和相對(duì)含量，并不要求測(cè)出分壓力值，這種儀器稱為殘余氣體分析儀。

怎樣測(cè)量真空度?

1、用絕對(duì)壓力、絕對(duì)真空度表示的真空度。絕對(duì)壓力表示的真空度一般采用的是絕壓表測(cè)量，絕壓表0點(diǎn)為絕對(duì)真空，所以一般暴露于空氣中的絕壓表顯示的就是當(dāng)?shù)卮髿鈮毫χ怠?/p>

2、用相對(duì)壓力、相對(duì)真空度換算的真空度。一般這種情況就是通過的相對(duì)壓力來表示的真空度。配置一塊大氣壓力表，精密數(shù)字壓力表，測(cè)量得到當(dāng)?shù)卮髿鈮毫χ担缓鬁y(cè)量出相對(duì)當(dāng)?shù)卮髿鈮毫χ担缓鬁y(cè)量出相對(duì)當(dāng)?shù)卮髿鈮毫Φ南鄬?duì)壓力。那么絕對(duì)真空度我們就需要考慮當(dāng)?shù)卮髿鈮汉蜆?biāo)準(zhǔn)大氣壓的差值。然后計(jì)算得到絕對(duì)真空度。